Командой научно-образовательного центра Функциональные Микро/Наносистемы – совместного кластера МГТУ им. Н.Э. Баумана и ФГУП «ВНИИА им. Н.Л. Духова» – разработана уникальная технология изготовления фотонных интегральных схем
Подробнее https://scientificrussia.ru/articles/baumanskie-fotonn...