Для выпуска мельчайших электронных компонентов и высокотехнологичных изделий нужны специальные газы. Многие из них ранее в стране не изготовлялись.

Холдинг «Росэлектроника» (принадлежит «Ростеху») разработал технологии получения, хранения и транспортировки высокочистых газов. Они применяются при изготовлении современной микроэлектронной продукции. Об этом сообщила пресс-служба госкорпорации.

Речь идет о промышленном производстве таких газов, как:

моносилан;
арсин;
фосфин;
аммиак;
бор трехфтористый;
бор треххлористый. 

Все они востребованы на рынке микроэлектроники. При этом ранее для работы с ними приходилось использовать импортные материалы. 

Зачем нужны высокочистые газы

«Высокочистые газы играют в создании микроэлектроники важную роль. В производственном процессе может использоваться до нескольких десятков разнообразных газов, как вполне обычных, типа кислорода, азота, двуокиси углерода, водорода, аргона, так и довольно редких или токсичных — фтор, трехфтористый азот или бор», — комментирует исполнительный директор «Ростеха» Олег Евтушенко. 

Подробнее https://hi-tech.mail.ru/news/61275-v-rossii-nauchili...